露光, 学習方法, 気づき

「急がば回れ」-軌道修正

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露光装置関連の対訳を始めて1週間ほど経ちましたが、ここで軌道修正することにしました。

 

 

半導体の知識をつけようと決断してから半年ほど経ちますが、これまでの間、「IBM社レジスト特許を読む」シリーズを視聴したり、半導体関連の書籍を読んだりしてきました。

そしてやっと今、露光装置にたどり着き、対訳を始めたわけですが、これまでとは全く違う系統の知識が多量に必要だと実感しました。

ということで対訳を一旦保留し、もう一度基本に帰ることにした、というのが今回の軌道修正です。

 

修正事項

1.露光装置の構成、用語、各部品の名称、またそれぞれの役割や用途を知る。

2.これまでにほとんど手を付けていなかった光学系、機械系の知識に関しても、ノート作成を開始する。

 

こんな当たり前のことをすっ飛ばし、「対訳を取りながら検索しつつ、少しずつ知識を増やしていけばいいかな」、と対訳開始してしまいました。

これでは、岡野の化学や橋元の物理の学習を無視して、いきなり特許明細書読みに挑むのと変わりませんよね。

 

露光装置と分野

現在学習しているフィールドは、一言で言えば「露光装置」ですが、レーザあり、レンズあり、アライメントあり、マスクあり…と、盛りだくさんな内容です。

光学、機械、化学、ソフトウェアなどの分野が絡み合っていて、まさに管理人さんがおっしゃる「ハイブリッド」案件です。

これまでに学習してきた化学と物理の基礎知識だけでは、完全に不足しています。

 

具体的な行動

とりあえず今は、露光装置関連の画像をGoogleで検索したり、メジャーな企業サイトの画像やカタログを収集したりしてフォルダで管理し、それに付随した情報もノートに切り貼りしています。

また、半導体の一般知識が書かれた書籍だけでなく、リソグラフィに焦点を置いた書籍にも目を通すことにしました。

 

目標

以前に、知識がなければ明細書は読めないことを、苦い経験から学びました。

また同じ失敗を繰り返しそうでしたが…(ああ、一度で学べる人間に早くなりたい)。

ということで、明細書の流れがある程度わかるくらいの基礎をつけることを、ひとまずの目標とします。

 

 

 

 

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